四氯化硅的应用现状研究
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湖南省科技计划重点资助项目(2009GK2012)


Application Research of Silicon Tetrachloride
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    摘要:

    综述了四氯化硅的主要处理方法和应用研究进展。详细介绍了四氯化硅在制备二氧化硅、多晶硅、三氯硅烷及其他硅烷产品方面的应用及其制备原理,并对各制备工艺技术进行了分析。

    Abstract:

    Reviews the disposing methods and applications of silicon tetrachloride, introduces its applications in the preparation of silica, polycrystalline silicon, silicon trichloride and other silicanes products, and analyzes principles of the preparation process technologies.

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    引证文献
引用本文

吴明明,谈 瑛,侯清麟,王吉清.四氯化硅的应用现状研究[J].湖南工业大学学报,2010,24(6):18-22.

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  • 收稿日期:2010-09-13
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  • 在线发布日期: 2015-09-02
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